微细加工技术

Microfabrication Technology
部级期刊
主管单位：信息产业部
主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
出版周期：双月刊
出版地区：湖南
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杂志简介

微细加工技术杂志 作者投稿咨询

《微细加工技术》杂志是部级期刊，创办于1983年，发行周期是双月刊。复合影响因子0.19，由中国电子科技集团公司第48研究所主办，信息产业部主管。该刊已被知网收录(中)、维普收录(中)、万方收录(中)、EI 工程索引(美)、国家图书馆馆藏、上海图书馆馆藏等主流学术数据库收录，并先后斩获Caj-cd规范获奖期刊、北大图书馆收录期刊等荣誉，本站非杂志官网。

0.19
影响因子
约3-6个月
审稿周期
伍三忠
主编
双月刊
出版周期
湖南
出版地区
一级发文领域：
电子电信 自动化与计算机技术 理学 一般工业技术 机械工程 电气工程 金属学及工艺 化学工程 动力工程及工程热物理
二级发文领域：
电子电信 / 物理电子学 电子电信 / 微电子学与固体电子学 自动化与计算机技术 / 控制科学与工程 自动化与计算机技术 / 检测技术与自动化装置 理学 / 物理 一般工业技术 / 材料科学与工程 理学 / 固体物理 金属学及工艺 / 金属学 机械工程 / 光学工程
主要资助项目：
国家自然科学基金 国家高技术研究发展计划 国家重点基础研究发展计划 国家教育部博士点基金 国家重点实验室开放基金 山东省自然科学基金 中国科学院知识创新工程 中国博士后科学基金 上海市自然科学基金
主要资助课题：
国家自然科学基金(90307003) 山东省自然科学基金(Y2003G03) 国家重点基础研究发展计划(2003CB716204) 国家自然科学基金(59671051) 山东省科技攻关计划(022090105) 国家高技术研究发展计划(2004AA404260) 国家高技术研究发展计划(2003AA404150) 国家自然科学基金(10572078) 国家自然科学基金(50275140)
栏目设置：
综述 电子束技术 离子束技术 光子束技术 薄膜技术 微机械加工技术 纳米技术
收录信息：
知网收录(中) 维普收录(中) 万方收录(中) EI 工程索引(美) 国家图书馆馆藏 上海图书馆馆藏
期刊荣誉：
Caj-cd规范获奖期刊 北大图书馆收录期刊

微细加工技术期刊介绍

《微细加工技术》是由中国电子科技集团公司第48研究所主办，信息产业部主管的全国性电子类期刊，创刊于1983年，刊号（CN 43-1140/TN，ISSN 1003-8213），双月刊。该杂志以刊登电子科学论文、评价电子科研成果、探讨电子教学规律、传播电子教学经验、开展电子学术讨论、报道电子研究动态、提供国内外电子信息为主旨，引领电子前沿和热难点问题研究，助电子经学者成长。该刊级别为部级期刊，欢迎广大读者订阅。

《微细加工技术》期刊栏目主要有：综述 电子束技术 离子束技术 光子束技术 薄膜技术 微机械加工技术 纳米技术

微细加工技术历史收录情况

  • Scopus数据库（2021）

微细加工技术投稿须知

（1）题目：应反映文章主要内容，一般不用副标题，不超过20个汉字，避免使用非公知的外文缩写。

（2）本刊将对一稿两投者表示公开谴责，通知作者单位，并2年内拒绝该文第一作者的任何来稿。

（3）来稿一经采用，因人力所限一般不退稿，请作者自留底稿，文稿署名自便，但来稿请注明作者真实姓名、单位、职称、通讯地址、邮政编码及电话，以便联系。

（4）注释时，必须将其作者姓名、文献名、出版社、出版时间、所属页码一并注出。

（5）参考文献：作者年份制，正文中以（作者，年份）形式置于对应处；详细内容采用文后注形式，中文在前、英文在后，以音序排序，具体著录格式见附件。

微细加工技术文献分析

1、主要引证文献期刊分析

序号 期刊 涉及文献量
1 《微纳电子技术》 61
2 《光学精密工程》 50
3 《材料导报》 36
4 《电子工业专用设备》 36
5 《纳米技术与精密工程》 32
6 《半导体技术》 27
7 《功能材料与器件学报》 25
8 《传感技术学报》 24
9 《压电与声光》 24
10 《中国机械工程》 23

2、主要参考文献期刊分析

序号 期刊 涉及文献量
1 《半导体学报：英文版》 35
2 《中国机械工程》 27
3 《光学精密工程》 26
4 《物理学报》 26
5 《光电工程》 25
6 《微纳电子技术》 18
7 《机械工程学报》 16
8 《光学学报》 16
9 《电子工业专用设备》 16
10 《传感器技术》 14

微细加工技术主要发文机构分析

序号 机构名称 发文量 相关发文主题
1 中国科学院 192 光刻；电子束曝光；曝光机；电子束曝光机；掩模
2 上海交通大学 129 微机电系统；电系统；机电系统；MEMS；刻蚀
3 清华大学 60 微细；光刻；微细加工；离子束；聚焦离子束
4 中国科学技术大学 47 刻蚀；离子束；离子束刻蚀；光刻；衍射
5 电子工业部 46 离子注入；注入机；离子注入机；半导体；电路
6 中国科学院微电子研究所 38 光刻；掩模；X射线光刻；电子束曝光；分辨率
7 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 34 光栅；MEMS；刻蚀；光刻；传感
8 山东大学 29 电子束；电子束曝光；曝光机；电子束光刻；电子束曝光机
9 山东工业大学 28 电子束曝光；曝光机；电子束曝光机；电子束；电路
10 华中理工大学 26 刻蚀；溅射；半导体；等离子体；离子束

微细加工技术期刊文献

  • 基于MEMS的无阀泵研究进展 作者：白兰; 冯志庆; 吴一辉；大连民族学院; 大连; 116600; 大连民族学院; 大连; 116600; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 长春130033
  • 电感耦合等离子体源的研究进展 作者：杨定宇; 蒋孟衡；成都信息工程学院光电技术系; 成都; 610225; 成都信息工程学院光电技术系; 成都; 610225
  • 光刻结合热解制备高深宽比碳微结构的新方法 作者：汤自荣; 姚园媛; 史铁林; 廖广兰；华中科技大学; 机械科学与工程学院; 武汉; 430074; 武汉光电国家试验室; 武汉; 430074; 华中科技大学; 机械科学与工程学院; 武汉; 430074; 武汉光电国家试验室; 武汉; 430074; 华中科技大学; 机械科学与工程学院; 武汉; 430074; 武汉光电国家试验室; 武汉; 430074; 华中科技大学; 机械科学与工程学院; 武汉; 430074; 武汉光电国家试验室; 武汉; 430074
  • 基于光刻版的无留膜紫外纳米压印技术研究 作者：张亚军; 丁玉成; 卢秉恒；西安交通大学; 机械制造系统工程国家重点实验室; 西安; 710049; 西安交通大学; 机械制造系统工程国家重点实验室; 西安; 710049; 西安交通大学; 机械制造系统工程国家重点实验室; 西安; 710049
  • 接近式光刻的角谱法仿真研究 作者：李晓光; 沈连; 郑津津; 李木军; 陈有梅；中国科学技术大学; 机密机械与精密仪器系; 合肥; 230027; 中国科学技术大学; 机密机械与精密仪器系; 合肥; 230027; 中国科学技术大学; 机密机械与精密仪器系; 合肥; 230027; 中国科学技术大学; 机密机械与精密仪器系; 合肥; 230027; 中国科学技术大学; 机密机械与精密仪器系; 合肥; 230027
  • 评价任意面型微光学元件制作误差的方法 作者：高洪涛; 杜春雷; 张雨东；中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室; 成都610209; 中国科学院研究生院; 北京; 100039; 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室; 成都610209; 中国科学院光电技术研究所; 成都; 610209
  • 自动微分法求解粒子光学像差的精度分析 作者：李文萍; 顾文琪；中国科学院电工研究所; 北京; 100080; 中国科学院研究生院; 北京; 100039; 中国科学院电工研究所; 北京; 100080
  • 超磁致伸缩薄膜性能测试系统研究 作者：何滨; 章良; 宋祖殷；湖南建筑高级技工学校机电系; 长沙; 410015; 空军驻湖南军代室; 长沙; 410016; 空军驻湖南军代室; 长沙; 410016

投稿常见问题

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基本信息

  • 主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
  • 主管单位：信息产业部
  • ISSN：1003-8213
  • CN：43-1140/TN
  • 出版地区：湖南
  • 出版周期：双月刊
  • 创刊时间：1983
  • 本站类型：咨询类非杂志官网

主要发文机构及发文量

  • 中国科学院（192）
  • 上海交通大学（129）
  • 清华大学（60）
  • 中国科学技术大学（47）
  • 电子工业部（46）
  • 中国科学院微电子研究所（38）
  • 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所（34）
  • 山东大学（29）
  • 山东工业大学（28）

主要发文主题及发文量

  • 光刻（151）
  • 离子注入（105）
  • 电子束曝光（79）
  • 刻蚀（76）
  • 半导体（72）
  • 电路（70）
  • 微细（65）
  • 集成电路（64）
  • 微细加工（59）

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